삼성전자, 반도체 공정에 국산 불화수소 대체 투입

정다연 기자 / 기사승인 : 2019-09-04 18:31:14
  • 카카오톡 보내기
  • -
  • +
  • 인쇄

 

지난 7월 4일 일본 정부가 불화수소, 포토레지스트, 불화 폴리이미드 반도체 핵심소재 3종에 대해서 수출 규제를 내린 지 두 달 만에 삼성전자가 D램‧낸드플래시 등 메모리 공정에 일본 불화수소(HF) 대체체를 투입에 나섰다. 삼성전자나 SK하이닉스의 일본산 불화수소 대체 작업이 예상보다 빠르게 진행됨에 따라서 올 연말을 전후로 대체작업을 완료할 수 있을 것이라는 전망이 나오고 있다.

3일 관련 업계에 따르면 삼성전자는 국내 업체 솔브레인과 이엔에프테크놀로지가 제조한 불화수소를 납품받아서 지난달 중순부터 일부 공정에 투입하고 있는 것으로 알려졌다. 두 회사는 중국순 무순불산을 수입해서 일본 업체 못지 않은 ‘파이브 나인’(99.999%) 순도의 불화수소(HF) 액상 제품을 만드는데 성공했다.

다만, 국산 불화수소를 반도체 생산의 모든 공정 라인에 투입할 수 있는 단계는 아니다. 현재는 일부 공정에만 투입하고 있으며, 점차적으로 공정을 늘려가겠다는 계획이다.

삼성전자 관계자는 “국내 업체가 생산한 불화수소 시제품을 민감도가 낮은 공정부터 순차적으로 투입하고 있으며 민감도가 높은 공정으로 넓혀갈 방침”이라고 말했다.

반도체 공정은 500개 가량으로 구성돼 있고, 이 가운데 불화수소가 필요한 공정은 50개 안팎이다. 삼성전자는 이 가운데 1~2개 공정부터 일본산을 대체해 국산 제품을 쓰고 있는 것이다.
또한 SK하이닉스 역시 국내 업체가 생산한 불화수소를 조만간 시운전 작업에 투입한다는 방침이다. SK하이닉스의 경우 올해 두 차례나 감산에 들어가면서, 일본 발 소재 부족 사태에서 상대적으로 여유가 있는 편이다.

뿐만아니라 SK하이닉스는 중국 우시 반도체 생산라인에서 중국산 불화소수로 일본 제품 대체작업을 완전히 마무리한 것으로 알려졌다. 현재 삼성전자‧SK하이닉스 내부의 소재개발 담당 엔지니어들은 국산 불화수소 시제품에 대한 성분 분석을 진행하고 있는 상황이다.

이를 통해서 국내 업체가 만든 불화수소를 반도체 라인에 맞춰서 소재 성분 등을 조정하는 것이다. 소재업체와 삼성전자‧SK하이닉스 등이 일종의 공동 개발을 하는 것으로, 기존에 사용해왔던 일본 스텔라나 모리타 제품과 비교했을 때도 성분 구조에 크게 차이가 없어야 반도체 공정에 전면 투입했을 때도 제품 결함이 발생하지 않는다.

아울러 국내 업체 솔브레인이 이달 말 예정대로 충남 공주 옹장 증설 작업을 완료할 경우, 국산 불화수소의 양산 규모도 더 커질 것으로 전망되고 있다.

 

팩트인뉴스 / 정다연 기자 factinnews@factinnews.co.kr

<사진제공 뉴시스>

 

[저작권자ⓒ 팩트인뉴스. 무단전재-재배포 금지]

오늘의 이슈

뉴스댓글 >

주요기사

+

HEADLINE NEWS